面阵扫描传感器

普雷茨特面阵扫描传感器结合了超精密干涉型点传感器和灵活 2D 扫描光学系统的优点。 使用定制扫描模式对样品进行选择性扫描,可确保仅测量样品的相关区域, 因而节省了在线或离线质量控制的时间。这种面阵扫描传感器的典型应用包括智能手机生产中的质量控制、测量相机模块台阶高度l智能手机相机物镜的镜头倾斜度测量。面阵扫描传感器还用于显示器生产中的质量控制或在半导体行业中测量电子元件。

 

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Flying Spot Scanner 310 飞点扫描仪 310

使用飞点扫描器310和CHRocodile 2 IT传感器测量晶圆
  • 超快速扫描器,支持短周期扫描
  • 无需借助额外的轴或精密硬件
  • 一次扫描便可测量晶圆的弯曲、翘曲、TTV 和完成质量检测

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CHRocodile 2 IT

  • 速度快
  • 测量范围大
  • 适用于不同表面
  • 完全符合用户需求的探头

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CHRocodile 2 IT

Flying Spot Scanner:飞点扫描器

Flying Spot Scanner
  • 取代 X-Y 移动系统
  • 用户可为任何材料设置个性化扫描路径
  • 节省时间和成本

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