精确的厚度和距离测量

当同一光源的两个或多个路径长度稍有不同的光束叠加时，干涉仪可以利用此时产生的效应工作。

所产生的光谱及其调制频率包含了距离或层厚数据，具体情况取决于系统应用的测量任务。

干涉型传感器的优势

• 高速在线检测，最高可达 70 kHz。
• 不受高温、潮湿或震动条件的影响，因此适用于恶劣的工业环境，即使在水、油或酸等液体中也没有问题
• 适用于质量保障、表面和厚度测量
• 光学技术是可以测量多层夹层玻璃的独特方案
• 对 0.6 - 15,000 µm 的厚度测量很精确
• 适合红外透射材料的厚度测量，例如在晶片检查过程中的测量。
• 静态或移动测量点 
• 无源光学探头 —— 结构紧凑且无源、无磨损、无撕裂

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