半导体产业
半导体计量传感器可测量多达 192 个非常接近的测量点,因此光学探头在给定时间内测定的面积远大于传统点式传感器。我们公司的 CHRocodile IT 产品系列可对晶片、胶粘剂和涂层进行高速厚度测量,以实现更高的半导体产量以及更精确、可重复性更高的产品质量。
在化学机械抛光 (CMP)、背面研磨和旋转腐蚀的车间处理过程中,可以使用这些高速工具就地测量端点厚度。总而言之,光学监测提高了半导体生产工艺的效率,从而减少了材料浪费。
半导体计量传感器可测量多达 192 个非常接近的测量点,因此光学探头在给定时间内测定的面积远大于传统点式传感器。我们公司的 CHRocodile IT 产品系列可对晶片、胶粘剂和涂层进行高速厚度测量,以实现更高的半导体产量以及更精确、可重复性更高的产品质量。
在化学机械抛光 (CMP)、背面研磨和旋转腐蚀的车间处理过程中,可以使用这些高速工具就地测量端点厚度。总而言之,光学监测提高了半导体生产工艺的效率,从而减少了材料浪费。