Flying Spot Scanner

3D 计量 - 面阵扫描传感器

Flying Spot Scanner:飞点扫描器

报价申请

厚度、形貌和横向或纵向定线的点扫描

普雷茨特飞点扫描器 (FSS) 能够实现厚度和形貌的高速 OTC 扫描成像,并可与各种 CHRocodile 2 IT 和传感器相结合,创建一个智能检测系统。FSS 具备先进的技术,能够实现高速非接触式区域检测,确保在线和离线质量保障,以及对各种材料和表面的 3D 测量。

Flying Spot Scanner

优势

  • 取代 X-Y 移动系统
    对于离线和在线质量控制过程中的高速区域检测,普雷茨特飞点扫描器取代了整个测量系统,无需额外的线性 X-Y 轴。精密光学系统带来的引领的光学测量已经代替了 X-Y 轴的机械线性移动。
  • 用户可为任何材料设置个性化扫描路径
    只扫描相关区域,并且可自由定义扫描形状和过滤器。非接触式 3D 成像系统能够在反射面上进行测量(甚至透过保护箔)。远心成像确保扫描区域内的光角度保持不变,因此将角度引起的测量误差降至最低,同时减少了阴影。
  • 节省时间和成本
    普雷茨特飞点扫描器出色的扫描速度与 CHRocodile 2 IT 快速测量速度 (70 KHz/s) 相结合,可实现在线使用,检测周期短,并降低离线和在线质量控制成本。

技术数据

  • 测量速度:可达 70 kHz/s
  • 测量范围:取决于所选 CHRocodile 2 IT 传感器
  • 80 mm 飞点扫描器
    扫描面积:80 mm
    测量点最大速度:10 m/s
    工作距离:200 mm
  • 40 mm 飞点扫描器
    扫描面积: 40 mm
    测量点最大速度:5 m/s
    工作距离:125 mm

更多 面阵扫描传感器

Flying Spot Scanner 310 飞点扫描仪 310

  • 超快速扫描器,支持短周期扫描
  • 无需借助额外的轴或精密硬件
  • 一次扫描便可测量晶圆的弯曲、翘曲、TTV 和完成质量检测

你可能也对这些领域感兴趣

CHRocodile 2 IT

  • 速度快
  • 测量范围大
  • 适用于不同表面
  • 完全符合用户需求的探头

CHRocodile 2S | 2SE | 2S HS

  • 适用于各种表面和材料
  • 无阴影
  • 适用于在线测量
  • 大角度测量
  • 完全符合用户测量需求的光学探头

CHRocodile C

  • 光电器件和光学探头集成在一个外壳
  • 物有所值
  • 高灵敏度版 CHRocodile C HS

CHRocodile 2 K

  • 塑料壁厚测量
  • 高精确度
  • 紧凑型设计
  • 完全符合用户需求的探头

CHRocodile CLS HS

  • 超精确的在线质量控制
  • 高横向分辨率 
  • 用于在线测量
  • 有角型

CHRocodile MPS 2L

  • 取代了 24 个单独测量通道
  • 在选择点和线测量探头时具有很大的灵活性
  • 特定探头,用于行业中的特殊任务

厚度测量 CHRocodile 2 DPS

  • 成本效益高
  • 直接读取结果
  • 应用领域广泛
  • 完全符合用户需求的光学探头

CHRocodile MPS 多点传感器系列

  • 灵活性大
  • 同时解决多个测量任务的理想选择
  • 测量探头的灵活定位
  • 高成本效益高

CHRocodile CVC:CHRomatic 白光视觉相机

  • 高横向分辨率
  • 各类型材料的高对比度
  • 高速
  • 可更换探头适合各种测量任务

 

CHRocodile Mini 共焦传感器

CHRocodile Mini - 迷你尺寸,性能优异

  • 经济、先进的共焦传感器
  • 光斑更小,尺寸紧凑,轻量
  • 在任何材料上均可实现无接触厚度及距离测量
  • 在曲面,不平整及粗糙表面也可使用
  • 不同尺寸的探头,可满足不同检测需求